ГЛАВА 5. Методы контроля плазмы, плазмохимических и ионно-плазменных процессов


  1. Общие положения
  2. Метод зондов Лангмюра
  3. Масс-спектрометрия
  4. Оптико-спектральные методы
  5. Абсорбционная спектроскопия
  6. Эмиссионная спектроскопия
  7. Контроль по изменению электрофизических параметров плазмы

Контрольные вопросы


Содержание
Hosted by uCoz