Содержание
ГЛАВА 1. Физические и химические свойства плазмы
ГЛАВА 2. Основные виды электрического разряда
ГЛАВА 3. Физико-химические основы процессов взаимодействия активных частиц плазмы с поверхностью
ГЛАВА 4. Процессы плазменной обработки неорганических материалов
ГЛАВА 5. Методы контрол
я
плазмы, плазмохимических и ионно-плазменных процессов
Тесты
Список литературы
Разработчики
Жду вашх предложений (гостевая)