Контрольные вопросы
- Что включает в себя понятие
контроля плазменного процесса?
- Сформулируйте основные требования
к методам контроля плазмы и плазменных процессов.
- Какие параметры плазмы могут быть
определены при зондовой диагностике?
- Какие ограничения существуют при
диагностике плазмы методом зондов Лангмюра?
- В чем заключается идея
масс-спектрального контроля плазменных процессов?
- Назовите основные недостатки и
ограничения метода абсорбционной спектроскопии.
- Что такое актинометрия?
- В чем заключается физический
принцип реализации методов контроля по изменению электрофизических параметров
плазмы?
|