4. Оптико-спектральные методы
Оптико-спектральные методы включают группу методов,
основанных на регистрации изучения плазмы, либо на эффектах взаимодействия с
частицами плазмы электромагнитного излучения видимого и ближнего УФ диапазонов.
Привлекательность и широкая распространенность этих методов обусловлены двумя
основными факторами. Во-первых, эти методы являются невозмущающими, то есть не требуют
введения в плазму зондирующих устройств, организации систем отбора газа из
реакционной зоны и т.д. Это, с одной стороны, снимает ограничения контактных
методов, возникающие при исследовании химически активной плазмы (коррозия
диагностического оборудования, изменение состояния поверхности зондов и т.д.)
и, с другой стороны, позволяет получать информацию, отражающую истинные
параметры плазмы или процесса. Во-вторых, оптико-спектральные методы отличаются
относительной простотой аппаратной реализации и хорошо развитой теорией
обработки результатов измерений. Последнее предоставляет возможность контроля
не только за относительными изменениями концентраций частиц и скоростей
процессов, но и за их абсолютными величинами, что в ряде случаев представляет
значительный интерес.
|
