Контрольные вопросы
- Какими параметрами характеризуются процессы плазменного травления материалов? Что такое изотропное и анизотропное травление?
- Какие газы используются в качестве
плазмообразующих сред при травлении неорганических материалов?
- Каков механизм плазменного травления?
- Охарактеризуйте механизм
радикального травления? В чем заключаются конструкционные отличия реакторов
плазменного и радикального травления?
- Охарактеризуйте механизм
ионно-плазменного травления. Каковы операционные параметры этого процесса?
- Охарактеризуйте механизм
ионно-лучевого травления. Каковы основные элементы реактора ионно-лучевого
травления?
- Охарактеризуйте механизм
реактивного ионно-плазменного травления.
- Охарактеризуйте механизм
реактивного ионно-лучевого травления. Какими параметрами характеризуются
парциальные вклады физической и химической составляющих в общую скорость
процесса?
- Назовите основные достоинства и
недостатки методов ионно-плазменного и ионно-лучевого травления.
- Назовите основные достоинства и
недостатки методов плазменного и радикального травления.
- Дайте классификацию процессов
радиационно-стимулированного травления. Какие стадии плазменного гетерогенного
процесса допускают радиационную стимуляцию?
- В чем состоит принципиальное
отличие процессов ионно-стимулированного травления и реактивного ионно-лучевого
травления?
|
