ГЛАВА 3. Физико-химические основы процессов взаимодействия активных частиц плазмы с поверхностью

Тест 1

1. Укажите правильную последовательность процессов при распылении материала ионной бомбардировкой:
   а) передача энергии от иона распыляемой частице;
   б) выход распыляемой частицы за пределы твердого тела;
   в) Проникновение иона вглубь твердого тела;
   г) Столкновение иона с поверхностью.

   а,б,в,г   б,а,г,в   г,в,а,б   в,г,а,б  

    
2. Основной механизм распыления твердого тела при ионной бомбардировке заключается в:

   разогреве твердого тела до температуры испарения;

   локальном разогреве узкой области в месте удара бомбардирующего иона;

   парном столкновении при передаче энергии первичного иона атому твердого тела.

    
3. Коэффициент распыления с ростом теплоты сублимации распыляемого материала:

   увеличивается;

   уменьшается;

   не изменяется.

    
4. Зависимость коэффициента распыления от энергии первичных ионов имеет вид кривой

   с максимумом;

   линейной;

   с насыщением;

   с минимумом.

    
5. Наиболее сильное влияние на коэффициент распыления оказывает:

   природа атома мишени;

   природа падающего иона;

   номер элемента мишени;

   дозы облучения.

    
6. К химически активным частицам при плазмохимическом травлении относятся:

   ионы инертных газов;

   электроны;

   свободные атомы;

   метастабильные атомы.

    
7. К энергетически активным частицам не относятся:

   ионы инертных газов;

   электроны;

   свободные атомы;

   метастабильные атомы.

    
8. Укажите последовательность стадий плазмохимического травления:
   а) адсорбция химически активных частиц на поверхности;
   б) образование в газовой фазе разряда химически и энергетически активных частиц;
   в) химическая реакция;
   г) доставка активных частиц к поверхности обрабатываемого материала;
   д) десорбция продуктов взаимодействия с поверхности в газовую фазу.

   г,в,а,б,д   б,г,а, в,д   а,б,в,г,д   б,в,а,д,г  

    
9. В диффузионной стадии скорость процесса плазмохимического травления лимитируется:

   скоростью гетерогенного взаимодействия;

   транспортом активных частиц к поверхности;

   скоростью десорбции продуктов реакции с поверхности.

    
10. В кинетической стадии скорость процесса плазмохимического травления лимитируется:

    скоростью гетерогенного взаимодействия;

    транспортом активных частиц к поверхности;

    скоростью десорбции продуктов реакции с поверхности.